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2007年北方微电子PVD溅射与等离子刻蚀机专利分析
来源：
国家知识产权局知识产权发展研究中心
时间：
2007-4-26 17:40:43
被阅读次数：
3135
全面研究了PVD溅射及等离子刻蚀机相关专利技术的整体态势、区域分布、技术特征以及主要申请人情况，着重针对北方微电子的PVD溅射及等离子刻蚀机的相关技术进行了深入的对比分析和研究。
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