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行业企业战略规划

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2007年北方微电子PVD溅射与等离子刻蚀机专利分析
来源: 国家知识产权局知识产权发展研究中心   时间:2007-4-26 17:40:43   被阅读次数: 3135

    全面研究了PVD溅射及等离子刻蚀机相关专利技术的整体态势、区域分布、技术特征以及主要申请人情况,着重针对北方微电子的PVD溅射及等离子刻蚀机的相关技术进行了深入的对比分析和研究。

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